번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102860
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105832
333 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1867
332 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1859
331 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1854
330 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1846
329 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1840
328 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1829
327 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1829
326 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1816
325 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1800
324 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1797
323 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1788
322 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1785
321 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1780
320 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1776
319 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1763
318 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1759
317 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1756
316 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1750
315 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1741
314 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1735

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