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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67562
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248 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1267
247 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1258
246 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1255
245 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1253
244 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1233
243 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1224
242 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1223
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239 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1217
238 plasma 형성 관계 [1] 1216
237 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1213
236 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1207
235 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1204
234 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1191
233 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1186
232 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1183
231 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1182
230 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1159
229 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1157
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