Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76742 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68705 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
289 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1427 |
288 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1424 |
287 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1419 |
286 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1410 |
285 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1408 |
284 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1402 |
283 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
282 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1390 |
281 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1386 |
280 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1382 |
279 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1376 |
278 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1375 |
277 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1370 |
276 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1356 |
275 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1354 |
274 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1349 |
273 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1345 |
272 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1332 |
271 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
270 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1324 |