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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage]
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안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법]
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG]
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플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지]
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N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정]
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RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수]
[1] | 4909 |
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전]
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
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Plasma 에칭 후 정전기 처리 [표면 전위 생성 및 방전]
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303 |
Dry Etching Uniformity 개선 방법 [장치 구조에 따른 공간 분포]
[2] | 4885 |
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302 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
[1] | 1547 |
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301 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율]
[1] | 2191 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma]
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DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering]
[2] | 4186 |
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M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown]
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저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
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296 |
Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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295 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법]
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294 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
[1] | 2213 |
