DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92291 |
269 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11332 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11420 |
267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11450 |
266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12356 |
265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12489 |
264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12759 |
263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13202 |
260 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14142 |
258 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
257 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
256 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
255 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
254 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
253 | 우주 플라즈마 | 14785 |
252 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14787 |
251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |