Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92292 |
269 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11332 |
268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11420 |
267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11450 |
266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12356 |
265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12489 |
264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12759 |
263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13202 |
260 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14142 |
258 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
257 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
256 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
255 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
254 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
253 | 우주 플라즈마 | 14785 |
252 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14787 |
251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |
반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.
이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.