Others 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제

2012.11.09 20:21

파르코 조회 수:6369

30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92697
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7646
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8581
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8054
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9251
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7109
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6492
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9878
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10376
268 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6472
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6369
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8999
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8929
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6499
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54943
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8754
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12771
260 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8139
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10012
258 고온 플라즈마 관련 8090
쓰기
태그

Boards

XE Login