ATM Plasma Silent Discharge
2004.06.19 16:11
Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을 동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.
Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli, J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76731 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20201 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 269 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
| 268 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
| 267 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
| 266 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
| 265 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
| 264 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6492 |
| 263 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54897 |
| 262 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 261 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12758 |
| 260 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 259 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9962 |
| 258 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 257 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
| 256 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
| 255 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
| 254 | MFP에 대해서.. [1] | 7823 |
| 253 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
| 252 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
| 251 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10299 |
| 250 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |