Others Peak RF Voltage의 의미
2004.06.28 01:58
질문
안녕하세요...
제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.
감사합니다,.
답변
CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76735 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 269 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
| 268 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
| 267 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
| 266 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
| 265 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
| 264 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6492 |
| 263 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54899 |
| 262 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 261 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12758 |
| 260 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 259 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9963 |
| 258 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 257 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
| 256 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
| 255 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
| 254 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
| 253 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
| 252 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
| 251 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10299 |
| 250 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |