30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76751
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92312
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10355
268 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6465
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6365
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8982
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8921
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6493
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54903
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8743
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12759
260 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9969
258 고온 플라즈마 관련 8090
257 안녕하세요 교수님. [1] 9034
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8580
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13057
254 MFP에 대해서.. [1] 7825
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10302

Boards


XE Login