ICP ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]

2004.06.21 15:30

관리자 조회 수:15949 추천:261

질문 ::

ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가  COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.

답변 ::

말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2.  입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
    개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
301 MFP에 대해서.. [Collisional cross section] [1] 7883
300 고온 플라즈마 관련 8101
299 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8123
298 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8161
297 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8200
296 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8578
295 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8621
294 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8633
293 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8708
292 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 8725
291 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 8839
290 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 8943
289 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 8976
288 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 8989
287 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9091
286 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9150
285 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9295
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9355
283 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9579
282 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9616

Boards


XE Login