ICP 공정플라즈마

2019.10.27 18:33

sungsustation 조회 수:1154

교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.


1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.


2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76813
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20241
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92571
277 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9858
276 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9992
275 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10309
274 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10365
273 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10381
272 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10385
271 RGA에 대해서 10547
270 DC bias (Self bias) [3] 11277
269 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11398
268 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11448
267 플라즈마 살균 방식 [2] 11459
266 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12362
265 ICP와 CCP의 차이 [3] 12501
264 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12765
263 반응기의 면적에 대한 질문 12810
262 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13062
261 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13205
260 플라즈마의 상태 14080
259 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14143
258 냉각수에 의한 Power Leak 14447

Boards


XE Login