Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76744 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92300 |
| 269 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11334 |
| 268 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11420 |
| 267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11450 |
| 266 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12356 |
| 265 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12491 |
| 264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12759 |
| 263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
| 262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
| 261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13202 |
| 260 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
| 259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14142 |
| 258 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
| 257 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
| 256 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
| 255 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
| 254 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
| 253 | 우주 플라즈마 | 14785 |
| 252 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14788 |
| 251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15053 |
| 250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |
저희는 질소 및 질화막 공정에 익숙하지 않아 답변이 궁색합니다.
관련해서 최근 N2 관련 플라즈마를 깊이 연구하고 있는 그룹이 있어 소개해 드립니다. 아마도 연락을 취하시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.
한국핵융합에너지연구원 플라즈마장비지능화연구단 (Plasma E. I. Convergence Research Center): http://www.kfe.re.kr