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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
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산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 642 |
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low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다.
[1] | 640 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
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RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
[1] | 633 |
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 631 |
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새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서
[1] | 630 |
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
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3-body recombination 관련 문의드립니다.
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문의 드립니다.
[1] | 616 |
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CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
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RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
[1] | 609 |
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
[1] | 607 |
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
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플라즈마 충격파 질문
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
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