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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
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250 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1279
249 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1271
248 플라즈마 기초입니다 [1] 1268
247 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1259
246 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1250
245 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1226
244 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1213
243 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1213
242 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1211
241 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1206
240 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1187
239 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1180
238 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1174
237 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1174
236 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1157
235 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1153
234 플라즈마 챔버 [2] 1149
233 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1142
232 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1138
231 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1135

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