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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown]
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저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법]
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
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부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해]
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수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
[1] | 3755 |
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HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌]
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수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징]
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양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성]
[1] | 4565 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 3673 |
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플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]
[1] | 4958 |
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자료 요청드립니다.
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
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저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성]
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature]
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방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압]
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가]
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