회원 가입했어요

 유용한 사이트 운영 감사 드립니다


 RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가

수출하고자 하는데요.

  이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다


  CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?


 -챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?

 - RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요? 

- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요? 

-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요?   채용시 장점은 ?


evision21 드림

trade consultanta  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103326
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
294 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1624
293 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1623
292 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1619
291 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1605
290 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1602
289 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1602
288 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1584
287 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1583
286 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1562
285 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1561
284 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1556
283 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1552
282 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1540
281 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1538
280 wafer bias [Self bias] [1] 1532
279 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1531
278 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1518
277 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1512
276 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1502
275 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1475

Boards


XE Login