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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73369
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105622
293 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1610
292 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1603
291 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1599
290 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1595
289 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1581
288 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1579
287 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1567
286 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1560
285 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1557
284 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1550
283 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1547
282 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1545
281 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1537
280 wafer bias [Self bias] [1] 1528
279 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1524
278 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1505
277 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1497
276 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1490
275 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1464
274 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1463

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