안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [255] 76398
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19983
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57064
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68534
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91249
233 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1132
232 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1129
231 Group Delay 문의드립니다. [1] 1128
230 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1125
229 자기 거울에 관하여 1124
228 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1123
227 공정플라즈마 [1] 1108
226 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1107
225 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1102
224 wafer bias [1] 1100
223 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1088
222 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1084
221 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1080
220 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1075
219 전자 온도 구하기 [1] file 1066
218 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1063
217 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1059
» 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1052
215 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1050
214 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1050

Boards


XE Login