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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62985
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106 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 549
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104 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 543
103 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 540
102 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 537
101 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 528
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99 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 526
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94 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 503
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92 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 500
91 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 496
90 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 495
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