Others 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
2009.09.17 11:57
목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다.. 궁금한게 있어서요~ 현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다. 음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다.. 항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나? 칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고 또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요! 그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다.. 근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요... 진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~ 당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데 결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~ 오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요?? 아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요?? 궁금해 죽겟습니다... 도와주세요
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76764 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20221 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57173 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68713 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92341 |
230 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1105 |
229 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1088 |
228 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1084 |
227 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1074 |
226 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1070 |
225 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1067 |
224 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1067 |
223 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1061 |
222 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1059 |
221 | Plasma Arching [1] | 1052 |
220 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1052 |
219 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1045 |
218 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1039 |
217 | 플라즈마 코팅 [1] | 1037 |
216 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1031 |
215 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1030 |
214 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1023 |
213 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1020 |
212 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1016 |
211 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1013 |