Others 문의 드립니다.

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:776

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.


3가지 질문을 드리려고 합니다.


염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.


1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.


2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??


3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] 74892
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18750
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56229
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66712
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88080
158 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 873
157 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 873
156 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 860
155 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 857
154 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 855
153 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 854
152 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 847
151 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 839
150 Plasma Generator 관련해서요. [1] 837
149 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 832
148 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 832
147 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 815
146 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 809
145 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 805
144 전자 온도 구하기 [1] file 802
143 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 799
142 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 798
141 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 795
140 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 789
139 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 788

Boards


XE Login