Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
2011.01.03 12:29
이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.
Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다
tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.
솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여
맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만
이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76859 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20264 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92635 |
235 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20312 |
234 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31681 |
233 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 24346 |
232 | HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 | 23340 |
231 | 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. | 22949 |
230 | 대기압 플라즈마 | 40710 |
229 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
» | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47876 |
227 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20206 |
226 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16040 |
225 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19429 |
224 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30042 |
223 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17195 |
222 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34964 |
221 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
220 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22622 |
219 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25585 |
218 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20580 |