Others MFC

2004.06.19 17:14

관리자 조회 수:19081 추천:314

이은석 wrote :
안녕하십니까? 저는 이제 막 플라즈마에 대해 공부하기 시작한 코팅업체의 초보연구원입니다. 제가 이렇게 방명록을 방문한 이유는 저온 플라즈마 반응에서 유기중합막을 이루는 단량체를 반응기내로 주입시켜주는 장치에 대하여 자세히 알고 싶어서 입니다. 주로 반응성 또는 비활성 가스를 MFC로 조절하여 주입하게 되는 것으로 알고 있는데 저희는 액상의 모노머도 사용할 수 있도록 장치를 꾸미려 하고 있습니다. 가능하면 견학도 해보고 싶고, 참고할만한 자료가 있는 곳을 좀 알려주시면 감사하겠습니다. 또한 초음파나 heating을 이용한 방법은 불가능한지요?

군산대학교 공과대학 재료공학과 주정훈 교수
저는 CVD가 전공은 아니지만, MFC 전문업체인 MKS(http://www.mksinst.com)의 홈페이지에 가면 direct liquid injection (DLI-25C)에 대한 자세한 안내가 나와있읍니다. 도움이 되시리라 생각됩니다. micropump, heated vaporiser, control electronics로 구성된 sub-system이라고 되어 있읍니다.

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