ATM Plasma DBD plasma

2004.06.21 15:13

관리자 조회 수:18087 추천:283

DBD plasma

플라즈마 반응시 빛이 보이게 됩니다. 우선 빛의 정체를 보면, 빛을 방출하게 되는 경우는 원자가 여기되었다가 기저 상태로
낮아 지면서 나오는 에너지 차이가 우리가 인지할 수 있는 파장대의 빛으로 나오게 되는 것입니다. 이 에너지는  이온화 반응에너지
보다 낮아 이온화 반응과 함께 진행됨으로 빛이 보이면 이온화가 진댕되고 있겠다고 생각할 수 있는 이유입니다. 지금 실험하고 있는
상황은 아마도 puls corona 실험을 하고 있는것 같습니다. 혹은 DBD실험일 것입니다. 두 경우 모두 가시적으로 빛이 관찰되지 않는
다면 puls형태의 플라즈마 혹은 DBD플라즈마가 제대로 형성되지 않았다고 할 수 있습니다. 또한 corona방전이나, DBD의 경우나 외부
ground전극의 일부가 유리와 같은 유전체로 만들어져 있다고 해서 플라즈마를 만들지 못할 이유는 없습니다. 오히려 반응기에 제대로
power가 전달되고 있는 가를 점검하여야 할 것입니다.
혹은 빛이 약해서 관찰이 되지 않을 수도 있습니다. 주변을 어둡게 하고 실험을 해보기 바랍니다. 이런 경우에는 power electrode
에서 흐르는 전류를 측정해 보는 방법이 가장 확실한 방법입니다. 물론 displacement current를 제거를 하고 자료를 관찰해야 할
것입니다. 좋은 결과가 있기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76650
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57148
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92126
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20203
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16034
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19413
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29966
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17191
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34937
221 질문 있습니다. [1] 18368
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22616
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25580
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 20575
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20257
216 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20897
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24844
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24550
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27207
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41214
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23377
210 석영이 사용되는 이유? [1] 20010
209 surface wave plasma 에 대해서 [1] 18535
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23259

Boards


XE Login