ATM Plasma 기중방전에서 궁금한것이
2004.06.25 12:53
질문 ::
제가 기중방전실험을 통해서 거리가 10-35mm 간격의 구-구 전극에서 습도의 영향을 보고 싶어서 실험을 하였습니다. 습도를 40%-90%까지 가변하면서 전로파괴전압을 측정하였는데 그 결과는 습도가 높을수로 파괴전압을 큰 것으로 나타났습니다. 이쪽에 입문한지 얼마되지 않아서 그 이유가 궁금합니다. 실험하기 전에는 습도가 높을수로 파괴전압이 낮을것이라고 예상했는데, 반복실험을 통해서 관찰해보니 그 결과는 반대인데, 이것을 이론적으로 풀어주시면 더욱더 고맙겠습니다. 아니면 간략하게라도 이유를 설명해주심 감사하겠습니다.
그럼, 안녕히계십시요.
답변 ::
저도 같은 생각인데 결과가 의외입니다. 좀더 구체적으로 자료에
대해서 논의를 해 보면 좋을 것 같습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76840 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92582 |
236 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1115 |
235 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1092 |
234 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1090 |
233 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1087 |
232 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1086 |
231 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1077 |
230 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1069 |
229 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1065 |
228 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1063 |
227 | Plasma Arching [1] | 1062 |
226 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1057 |
225 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1049 |
224 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1044 |
223 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1039 |
222 | 플라즈마 코팅 [1] | 1038 |
221 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1035 |
220 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1031 |
219 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1026 |
218 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1019 |
217 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1014 |