안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1520
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2316
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49510
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59719
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75637
83 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 400
82 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 397
81 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 393
80 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 392
79 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 392
78 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 387
77 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 387
76 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 383
75 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 381
74 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 378
73 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 376
72 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 374
71 알고싶습니다 [1] 369
70 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 368
69 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 365
68 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 365
67 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 362
66 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 358
65 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 358
64 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 355

Boards


XE Login