Others DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단

2017.02.20 19:49

조재규 조회 수:1028

안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76882
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20277
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92707
238 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1120
237 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1099
236 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1099
235 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1097
234 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1092
233 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1079
232 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1075
231 Plasma Arching [1] 1074
230 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1070
229 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1070
228 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1060
227 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1056
226 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1050
225 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1049
224 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1040
223 플라즈마 코팅 [1] 1038
222 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1034
» DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1028
220 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1020
219 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1018
쓰기
태그

Boards

XE Login