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112 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 584
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110 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 573
109 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 560
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107 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 557
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105 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 543
104 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 542
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102 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 535
101 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 533
100 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 532

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