ATM Plasma 상압 플라즈마 방전에 관한 문의

2011.06.20 10:33

김동영 조회 수:20311 추천:10

안녕하세요

조금전 상압 플라즈마 방전과 관련한 내용을 전화로 문의드렸던 사람입니다.

서면으로 정리하여 문의드리는 쪽이 편하다고 하시어 이렇게 글을 남기게 되었습니다.


우선 저희가 연구중인 제품은 저온 상압 플라즈마 방전을 이용한 이온발생기로서 기본적인 목적은

항균/탈취/바이러스 제거 등 실내공기 정화입니다.


저희가 사용하는 방식은 아래와 같습니다.



1. 출력 전압 : ± 2.5kV ~ 4.5kV (DC, AC pulse 두가지 타입)

2. 사용 전극 : 침상 전극 (+), (-) 각 1개
- 두개의 전극간 이격 거리 : 30mm (최적의 전극간 이격거리를 현재 찾고 있음)
- 침상 전극의 형태는 얇은 철판을 5mm X 10mm 크기로 끝을 뾰족하게 만든 전극형태를 사용

3. 구동조건 : 상압,상온

4. 외관 : 침상 전극에 다치지 않도록 커버가 있으나, 공기의 유입이 가능하도록 직경 5pi 수준의 구멍이
  각각의 전극 상단에 위치함


이에 문의드리고자 하는 내용은,

1) 최적의 저온 상압 플라즈마 방전의 조건
- (+)이온, (-)이온의 발생이 가장 많이되는 최적의 출력전압조건(DC, AC or pulse / Voltage level)
- 침상전극의 형태
- 침상전극간 이격 거리

2) 저온 상압 플라즈마 방전에 대한 논문등의 자료
- 추천하시는 논문/서적/사이트/연구실/전문기관/전문가 등


적다보니 너무 광범위한 내용이 되어버려서 죄송합니다.

아는 것은 적은데 알고 싶은것이 너무 많은 탓이라 이해해주시면 감사하겠습니다.

바쁘시겠지만 검토부탁드리며, 회신 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
229 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1104
228 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1087
227 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1081
226 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1071
225 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1066
224 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1064
223 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1059
222 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1059
221 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1058
220 Plasma Arching [1] 1051
219 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
218 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
217 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1038
216 플라즈마 코팅 [1] 1036
215 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
214 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1029
213 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1022
212 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1016
211 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1013
210 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011

Boards


XE Login