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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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600 |
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
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[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
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매칭시 Shunt와 Series 값
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RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
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구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
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low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
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electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 221 |
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다.
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플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다.
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588 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
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플라즈마 챔버
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.
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585 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
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플라즈마 용어 질문드립니다
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