번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76657
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92144
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 733
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 714
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 368
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 313
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 289
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 499
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 472
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 670
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 477
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 408
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 309
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 339
734 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 549
733 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 248
732 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 345
731 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 212
730 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
729 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 493
728 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 322

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