공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
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플라즈마 PIC 질문드립니다.
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[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
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O2 Asher o-ring 문의드립니다.
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
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자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
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Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
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플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
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플라즈마 살균 방식
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Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다.
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RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY
[1] | 390 |
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
[1] | 118 |
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
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