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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75594
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 186
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 325
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 247
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 397
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 466
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 377
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 652
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 97
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 392
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 562
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 609
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 221
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 412
589 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 777
588 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 539
587 플라즈마 챔버 [2] 413
586 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 429
585 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 898
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