번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86030
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 708
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 488
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 518
663 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1721
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 811
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 405
660 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 468
659 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 877
658 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 282
657 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 631
656 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 432
655 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 686
654 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 416
653 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 684
652 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 960
651 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 581
650 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1260
649 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 540
648 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 3657
647 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 680
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