번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76392
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19973
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68531
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91235
733 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 333
732 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 333
731 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 333
730 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 334
729 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 337
728 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 355
727 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 357
726 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 361
725 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 362
724 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 362
723 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 365
722 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 366
721 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 369
720 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 370
719 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 371
718 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 372
717 plasma modeling 관련 질문 [1] 374
716 PECVD Uniformity [1] 382
715 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 386
714 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 393

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