OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:26206

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76888
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20282
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
759 플라즈마 온도 27811
758 DBD란 27756
757 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27652
756 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27219
755 이온과 라디칼의 농도 file 27020
754 self bias (rf 전압 강하) 26746
753 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26489
752 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26215
» OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26206
750 충돌단면적에 관하여 [2] 26186
749 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25587
748 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24991
747 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24893
746 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24891
745 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24779
744 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24766
743 plasma와 arc의 차이는? 24761
742 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24673
741 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24619
740 플라즈마가 불안정한대요.. 24524

Boards


XE Login