안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77044
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20370
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57280
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68827
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92828
238 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 492
237 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 493
236 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 494
235 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 506
234 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 524
233 self bias [1] 548
232 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
231 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 570
230 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
229 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 599
228 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 601
227 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
226 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 606
225 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 610
224 plasma 공정 중 색변화 [1] 662
223 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 680
222 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 691
221 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 693
220 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 706
219 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 710

Boards


XE Login