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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리]
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간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database]
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self bias [쉬스와 표면 전위]
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수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴]
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전]
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안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응]
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전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성]
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Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해]
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Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground]
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프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath]
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자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy]
[1] | 883 |
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias]
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standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해]
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Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
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코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]
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226 |
ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
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플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation]
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플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해]
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RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제]
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플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응]
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