Others RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
2016.04.30 22:43
안녕하세요. 눈팅만 몇달을하다..한가지 질문해봅니다..답변이 언제될지모르겠지만..기다리겠습니다..우선좋은 자료를 쉽게설명해줘서 재밌게읽고 아해하고있습니다..궁금한게있는데요..
제가 반도체회사근무중인데..
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성이 궁금합니다..평가결과는 영향성이있는거같은데..어떻게 메카니즘을 풀어야할지 모르겠네요..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76750 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92308 |
61 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1447 |
60 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
59 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1390 |
» | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4183 |
57 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
56 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54903 |
55 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8580 |
54 | 반도체 관련 질문입니다. | 28579 |
53 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
52 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
51 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21331 |
50 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17975 |
49 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
48 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
47 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19541 |
46 | 궁금해서요 | 16316 |
45 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
44 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
43 | 교재구입 | 20725 |
42 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |