Others RF power에 대한 설명 요청드립니다.
2017.03.29 14:50
PLASMA에 영향이 있는 ICP챔버의 경우에 대한 Parameter 해석관련 질문드립니다.
공식으로 알고 있는 이해보다 왜 그런지 쉬운 설명으로 메카니즘 해석 좀 부탁드리겠습니다.
제가 잘못알고 있거나 일부분만 알고 있는 내용일수 있는데 이점 양해 부탁드립니다.
책을 보았으나 혼동되는 부분이 있어 개념을 잡으려고 합니다..
* RF bias POWER는 전자밀도 와 비례 , ion flux 와 비례하는걸로 알고 있습니다.
1. electron density 와 비례한다면 ,,, ion density는 영향이 없는건가요?
2. 전자밀도가 높으면 쉬쓰 두께는 왜 줄어드나요?
충돌확률이 왜 전자밀도와 반비례인가요? 밀도가 높은데 충돌확률이 왜 떨어지는지 잘 모르겠습니다..
3. debye length 인/척력이 이온이나 전자의 가속과 관련이 있는건가요..?
입자의 속도는 밀도와 온도에만 관련있다고 알고 있는데 인/척력이 나오니 좀 헤깔리네요;;
4. ICP type에서 RF source power는 bias power 와 ion이나 전자 거동이 어떻게 다른지 궁금합니다.
사실 제가 RF(source power 상단부) Reflect power 부분이 관심이 많습니다..
- Bias voltages depend on gas : √Te/Kiz(Te) ~ d
- ω↑ → n↑ → sheath 두께 δsh↓ → 플라즈마 size d↑ → 전자온도 Te↓
→ 충돌확률 νm↓ →
Diffusion D↑ →
more symmetric → Vdc-bias↓ → Vdc-sh↓
- δsh ∝ ω-1 , d (plasma width) = characteristic length - sheath width
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76881 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20276 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68754 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92707 |
62 | Light flower bulb | 17081 |
61 | RF에 대하여,, | 17051 |
60 | 형광등으로 부터 플라즈마의 이해 | 17009 |
59 | 플라즈마의 어원 | 16344 |
58 | 궁금해서요 | 16316 |
57 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
56 | 역 수소폭탄에 대하여... | 16009 |
55 | k star | 15957 |
54 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15671 |
53 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15626 |
52 | 핵융합반응/플라즈마 | 15531 |
51 | 우주 플라즈마 | 15356 |
50 | 우주 플라즈마 | 14786 |
49 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14589 |
48 | 플라즈마의 상태 | 14083 |
47 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12364 |
46 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8582 |
45 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
44 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6472 |
43 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6257 |