안녕하세요. 

KIC 박동용입니다.

당사는 하드페이싱 관련 업체로 철판의 일면에 내식성, 내마모성이 우수한 합금을 용접공정으로 하드페이싱을 하는 업체입니다.

하드페이싱 후 하드페이싱 된 철판을 일정 형상으로 산소가스를 이용한 플라즈마절단을 수행하고 있습니다.


최근 환경검사중 플라즈마 절단기의 하부 수조에서 시안화물(CN)이 검출되어 검출원인을 조사중에 있습니다.


탄소강 혹은 STS 300계 철판 절단시 대기중의 질소와 철판내 존재하는 탄소가 플라즈마에 의해 결합이 가능한지 문의드립니다.

절단 소재 : SS400, STS 300계 철판

하드페이싱 소재 : C 3~4%, Cr 20~23%인 제품군 및 C 0.1%, Cr 13%, Ni 4% 전후의 제품군


시안화물(CN)의 광촉매 및 플라즈마에 의한 청정화 처리등에 대한 연구자료는 일부 확인을 하였는데,

플라즈마와 관련된 시안화물의 생성(or 결합) 과 관련된 자료는 확인하지 못했습니다.

도움 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76731
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20200
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
142 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1056
141 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 880
140 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2051
139 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4148
138 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2014
137 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1113
136 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3964
135 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1168
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1309
133 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
132 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2742
131 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1984
130 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 868
129 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 403
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1104
127 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1157
126 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 755
125 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 696
124 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1120
123 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2453

Boards


XE Login