안녕하세요.

 

플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로 

 

제품은 불소고무 O-RING 입니다.

 

할 수 있는곳이 있을까요?? 

 

도움 부탁드리겠습니다..

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103704
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24744
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61602
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73554
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 106062
794 Druyvesteyn Distribution 396
793 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226
792 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 484
791 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 125
790 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 435
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 451
788 플라즈마 설비에 대한 질문 312
787 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 504
786 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 879
785 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 855
784 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 486
783 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 386
782 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 842
781 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 670
780 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 544
779 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 414
778 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1056
777 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 770
776 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 611
775 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 452

Boards


XE Login