안녕하세요 대학원생 석사 과정을 밟고 있는 위창현입니다.

질문드리고 싶은 내용은 다름이 아니라 corona phase와 같은 특수한 경우 ionization ratio인 ion number density와 neutral particle number density의 비가 electron impact ionization rate coefficient와 radiative recombination rate coefficient의 비로 표현할 수 있게 되고, 전자의 밀도와 연관이 없는 것으로 식이 나타내지게 되는데, 플라즈마에서는 플라즈마의 전하가 quasi neutral을 띠기 때문에 전자의 수와 이온의 수가 같은 것을 알 수 있습니다.

질문은 quasi neutral상태의 ionization ratio에서 ion number density대신 electron number density를 쓰면 안되는 이유는 뭔가요?

 

number density의 개념이기 때문에, 전자의 온도가 이온의 온도보다 매우 높은 비평형 플라즈마에서는 electron number density가 ion number density보다 높기 때문에 ionization ratio에서 ion number density를 사용하는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103351
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24717
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61537
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
794 Druyvesteyn Distribution 376
793 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226
792 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 473
791 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 121
790 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 430
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 451
788 플라즈마 설비에 대한 질문 305
787 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 503
786 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 865
785 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 843
784 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 483
783 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
782 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 827
781 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 664
780 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 540
779 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 409
778 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1048
777 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 753
776 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 605
775 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 443

Boards


XE Login