안녕하세요. 교수님

후공정 기업에서 Sputtering 공정을 관리하는 신입 엔지니어입니다.

 

일을 배우며, 전공적으로 이해가 되지 않는 부분이 있으나,

이론적으로 알려주는 선배들이 없어 교수님 도움 받고자 질문글 남깁니다.

 

저희는 박막 증착 전, 표면적을 넓혀 adhesion을 높이기 위해,

Ar Plasma Etching을 진행하고 있습니다.

허나, 표면이 Metal 혹은 Si 일 경우, Ar Plasma Etching을 진행하지 않습니다.

"쇼트가 날 수 있어, 진행하면 안된다."라고는 들었는데, 이해가 잘 되지 않습니다.

 

제가 세운 가설은 Etching된 Metal (혹은 Si) 이 Sheild에 증착되어,

Wafer와 닿을 정도로 성장해 접지가 되어 plasma의 지속이 멈추는 것입니다.

 

교수님, 제가 이해한 것이 맞을까요?

도움 부탁 드립니다.

 

+Plasma type은 ICP(RF)이며, Ar gas로만 plasma 형성합니다.

또한, Quartz Chamber 사용하고 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [296] 77456
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20556
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57489
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69007
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93081
148 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 723
147 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 731
146 Polymer Temp Etch [1] 745
145 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 751
144 ICP 후 변색 질문 754
143 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 759
142 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 767
141 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 779
140 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 865
139 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 910
138 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 916
137 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 923
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 932
135 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [1] 1051
134 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1052
133 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1119
132 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1119
131 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1119
130 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1156
129 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1158

Boards


XE Login