번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
27 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2247
26 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2299
25 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2388
24 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2604
23 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2664
22 PR wafer seasoning [1] 2694
21 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2851
20 Plasma etcher particle 원인 [1] 2924
19 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2933
18 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3491
17 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3950
16 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4244
15 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5185
14 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5423
13 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5735
12 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6201
11 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6390
10 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9497
9 ICP와 CCP의 차이 [3] 12435
8 ICP 식각에 대하여... 16904

Boards


XE Login