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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68915
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92964
767 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 219
766 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 226
765 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 229
764 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 230
763 skin depth에 대한 이해 [1] 231
762 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 236
761 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 250
760 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 252
759 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 261
758 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 265
757 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 270
756 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 272
755 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 275
754 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 285
753 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 291
752 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 294
751 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 305
750 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 315
749 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 328
748 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 336

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