안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102754
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24678
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61392
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73462
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105799
793 탐침법 28241
» OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28178
791 DBD란 28113
790 플라즈마 온도 [Density와 Temperature] 28103
789 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle] 28027
788 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27594
787 이온과 라디칼의 농도 [해리도와 전자 에너지 분포] file 27412
786 self bias (rf 전압 강하) 27096
785 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26958
784 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [공정 과정 및 장치 상태] [2] 26855
783 충돌단면적에 관하여 [2] 26707
782 plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature] 25724
781 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25714
780 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25348
779 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건] [2] 25273
778 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model] [1] 25232
777 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 25184
776 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 25153
775 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 25029
774 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24996

Boards


XE Login