Langmuir Probe 플라즈마 측정기

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21334 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76864
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20264
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92664
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20262
216 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20915
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24881
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24609
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27217
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41268
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23401
210 석영이 사용되는 이유? [1] 20038
209 surface wave plasma 에 대해서 [1] 18551
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23269
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21112
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23771
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19195
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21334
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24667
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26210
201 몇가지 질문있습니다 16578
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21911
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 17997
198 matching box에 관한 질문 [1] 29681

Boards


XE Login