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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
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Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
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Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown]
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
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langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground]
[1] | 1075 |
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플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films]
[1] | 1071 |
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전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb]
[1] | 1063 |
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Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념]
[1] | 1059 |
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플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기]
[1] | 1058 |
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고진공 만드는방법. [System material과 design]
[1] | 1058 |
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아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance]
[1] | 1057 |
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Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
[1] | 1052 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1] | 1039 |
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
[2] | 1038 |
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RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher]
[1] | 1033 |
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
[1] | 1030 |
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Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet]
[1] | 1017 |
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상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브]
[2] | 1013 |
223 |
O2 Plasma 에칭 실험이요
[1] | 1008 |
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
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