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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64541
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118 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 665
117 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 662
116 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 652
115 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 648
114 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 642
113 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 638
112 Collisional mean free path 문의... [1] 633
111 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 630
110 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 620
109 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 618
108 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 617
107 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 614
106 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 610
105 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 607
104 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 604
103 ICP 후 변색 질문 604
102 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 599
101 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 590
100 교수님 질문이 있습니다. [1] 586
99 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 586
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