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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57865
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69399
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93943
241 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1084
240 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1078
239 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1077
238 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1076
237 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1075
236 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1071
235 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1063
234 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1059
233 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1058
232 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1058
231 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1057
230 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1052
229 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1039
228 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1038
227 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1033
226 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1030
225 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1017
224 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1013
223 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1008
222 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 992

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