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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72682
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253 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1333
252 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1328
251 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1328
250 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1325
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247 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1316
246 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1302
245 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1297
244 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1289
243 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1288
242 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1284
241 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1284
240 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1267
239 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1258
238 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1255
237 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1251
236 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1250
235 자기 거울에 관하여 1228
234 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1219

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