Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:913

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76953
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20316
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57238
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68787
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92780
221 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1021
220 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1019
219 고진공 만드는방법. [1] 1016
218 anode sheath 질문드립니다. [1] 1008
217 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
216 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 998
215 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 996
214 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 981
213 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 979
212 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 978
211 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 972
210 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 970
209 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
208 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 960
207 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
206 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 936
205 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 931
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
203 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 903
202 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 902
쓰기
태그

Boards

XE Login