Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:959

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
209 고진공 만드는방법. [1] 1008
208 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
207 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1001
206 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 998
205 anode sheath 질문드립니다. [1] 984
204 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 981
203 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 974
202 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 974
201 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
200 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
199 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
» O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 959
197 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 955
196 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 950
195 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
194 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
193 Plasma Generator 관련해서요. [1] 911
192 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 890
191 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 885
190 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 881

Boards


XE Login