Others 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마

2004.06.19 16:44

관리자 조회 수:14659 추천:262

플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마에 의해 발생하는 잡음 발생이 심각하다고 하셨습니다. 이를 제거하기 위해 전원부를 따로 쓰고 있고 차폐막도 설치했음에도 심호잡음이 계속 측정되고 있다고 하셨습니다.
일단 아크 플라즈마에서는 순간적인 아크 전류의 크기가 커서 발생 잡음은 매우 크고 이의 제거는 매우 어렵습니다. 일단 발생하는 잡음 신호의 주파수와 크기를 측정하실 필요가 있습니다. 이를 참고로 가장 염두에 두셔야 할 것은 차폐막과 전원부의 접지상태를 확인하시기 바랍니다. 잡음은 직류가 아진 고주파 교류신호임을 유의하여 접지 상태를 점검하고 차폐막의 형태나 설치 위치도 중요하니 설치 위치등을 다시 고려하시기 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4953
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16317
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51257
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63781
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83586
99 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 536
98 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 533
97 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 531
96 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 529
95 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 526
94 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 514
93 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 509
92 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 501
91 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 499
90 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 496
89 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 495
88 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
87 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 484
86 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
85 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 481
84 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 475
83 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 466
82 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 463
81 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 461
80 anode sheath 질문드립니다. [1] 461

Boards


XE Login