Others 형광등으로 부터 플라즈마의 이해

2004.06.21 15:12

관리자 조회 수:17001 추천:270

형광등으로 부터 플라즈마의 이해

플라즈마를 이해하기 위해서 형광들을 이해하려함은 아주 좋은 생각입니다. 형광등은 우리 주변에서 플라즈마 현상을 가장 가까이
서 쉽게 찾을 수 있기 때문입니다. 하지만 여기서의 현상들은 플라즈마의 기본현상을 모두 담고 있기에 이해하기가 그리 쉬운 문제는
아닐 것입니다. 이미 소개된 내용을 참고하여 문제를 좀 더 이해하여 보기 바랍니다.

아울러 한가지 첨부하고자 하는 사항은 형광등 양쪽에 검게 나타나는 부분은 형광등을 시작할 때 사용되는 열전자 방출용 필라멘트
가 sputtering되면서 그 sputtered 물질들이 유리관에 붙어 나타나는 현상입니다. 이는 형광등을 자주 on/off하면 더욱 심하게 되며
아울러 검게 되었다는 말은 filament가 가늘어 졌다는 이야기가 되며, 이렇게 되면 filament의 저항이 점차 크게 되어 쉽게 끊어지게
되어서 형광등의 수명이 다하게 됩니다. 이때의 현상은 implantation (이온이 물질 표면에 주입되는 현상을 의미함으로 이때 요구되는
이온의 에너지는 수 kV이상의 높은 에너지를 요구하게 됩니다.)이라 하지 않고 입사되는 이온에 의한 sputtering에 따른 방출 입자의
표면 흡착, 즉 coating에 해당됩니다. (sputter 항목 참조)
아울러 저희가 현재 사용하고 있는 형광등의 주파수는 60Hz임을 참고하여 현상을 고려해 보길 바랍니다. 형광등이 계속 켜져 있는
것 같은 이유는 우리 눈이 갖고 있는 착시현상에 기인합니다. 또한 일반적인 형광등의 경우 파랑색 파장의 빛의 방츨이 많으므로
삼파장 램프에서는 붉은 빛의 영역이 밚이 보완되어 있습니다. 때론 삼파장 램프를 사용하면 붉은 색 느낌을 많이 받는 이유이기도
합니다.

마지막 질문의 RF플라즈마의 전위에 대해서 질문하였는데 플라즈마 전위는 플라즈마 온도와 밀접한 관계가 있습니다. 플라즈마 온도
에 따라서 자신의 전위가 결정되게 됩니다. 이는
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76734
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
209 고진공 만드는방법. [1] 1008
208 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
207 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1000
206 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 998
205 anode sheath 질문드립니다. [1] 984
204 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 980
203 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 974
202 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 973
201 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
200 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
199 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
198 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
197 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 955
196 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 950
195 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
194 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
193 Plasma Generator 관련해서요. [1] 911
192 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 890
191 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 885
190 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 881

Boards


XE Login