Ion/Electron Temperature 저온 플라즈마에 관한 질문

2004.06.25 12:54

관리자 조회 수:18193 추천:239

안녕하세요.대학교 1학년 학생이고 플라즈마에 대해 혼자 공부하다 질
문이 생겨서 이렇게 글을 올립니다.
질문1)고온 플라즈마와 저온 플라즈마의 차이
질문2)환경보호에 고온 플라즈마는 쓰이지 않고 저온 플라즈마
만 쓰이는 이유
질문3)플라즈마가 환경을 보호하는데 어떻게 쓰이는지 구체적
인 매커니즘
질문 3은 꼭 답해주지 않으셔도 되구요. 추천할만한 책이나 사
이트 남겨주셔도 감사.. 메일로 보내주시면 더 감사...^-^




번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76731
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
209 surface wave plasma 에 대해서 [1] 18545
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23261
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21110
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23759
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19192
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21330
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24646
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26187
201 몇가지 질문있습니다 16578
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21895
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 17973
198 matching box에 관한 질문 [1] 29667
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18005
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19356
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19539
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22540
193 플라즈마 측정기 [1] 21332
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22239
191 Arcing [1] 28644
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24773

Boards


XE Login